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半导体晶圆切割机主轴分类

2021-12-17 0

半导体晶圆切割机主轴采用空气静压支承的电主轴。现在所使用的主轴有两类:分别是交流主轴,及直流主轴。

两类主轴从结构上有以下区别:直流主轴电动机的结构和普通直流电动机的结构基本相同。

其主要区别是:在主磁极上除了绕有主磁极绕组外,还绕有补偿绕组,以便抵消转子反应磁动势对气隙主磁通的影响,改善电动机的调速性能;直流主轴电动机都采用轴向强迫通风冷却或热管冷却,以改善冷却效果。直流主轴电动机在基本速度以下为恒转矩范围,在基本速度以上为恒功率范围,直流主轴主要采用晶体管脉宽调制调速系统调速,一般会装有用于反馈的检测元件。

而交流主轴电动机是经过专门设计的鼠笼三相异步电动机。与直流主轴电动机相类似,在基本速度以下为恒转矩区,在基本速度以上为恒功率区。当速度超过一定值后,功率-速度特性曲线会向下倾斜。交流主轴电动机广泛采用矢量控制调速方法进行速度控制。由于结构上的差别造成直流主轴的转速控制精度较高(通过反馈补偿转速),主轴工作时震动量较小,划切效果较好,但其扭矩相对同功率交流主轴偏小,对较厚、硬的玻璃、陶瓷和键和材料划切,切削力不足。

其切割领域主要针对硅晶圆,砷化镓,氧化物晶圆等。交流主轴扭矩较大,震动偏大,主要针对LED基板、生陶瓷、新型电子封装等较硬,精度要求不高的产品加工。

(本文由陆芯精密切割编辑发布,如需转载须注明出处:www.iluxintech.com,专注于精密划片、切割以及特殊切割加工等领域)
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