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陆芯精密晶圆切割机优势及工艺介绍

2022-02-17 0

陆芯精密晶圆切割机优势

1.设备精准度高(0.0001mm)

2.切割精度1.5um

3.效率高

4.加工品种多样化(晶圆、陶瓷、玻璃、QFN/DFN、PCB基板等)

5.成本低(设备、加工耗材、设备保养维护)

6.环境要求低(普通千级无尘车间)

7.操作简单易懂易上手(对标DISCO)

8.售后服务好

9.机器交付周期短


常见切割品种及简单工艺介绍


  一、BGA/WAFER类晶圆 


切割刀片

SD1000N25MR0207   52D*0.048T*40H

膜型号

LINTEC 

主轴转速

28000-30000rpm

切割水流量

Blade 1.0-1.2L/min

Shower 0.8-1.2L/min

校准方式

手动校准、自动校准

切割效率

8寸平均1h/片、12寸平均1.5h/片




二、二极管、三极管、MOS管类硅片


切割刀片

ZH05-SD4000-N1-70BA

膜型号

SPV224

主轴转速

38000-50000rpm

切割水流量

Blade 1.2-1.5L/min

Shower 1.0-1.2L/min

校准方式

手动校准、自动校准

切割效率

4寸10min/片、6寸20min/片、8寸30min/片、12寸1h/片



三、氧化铝、碳化硅类陶瓷


切割刀片

SDC500-R75TNF 56D×0.15T×40H

膜型号

LINTEC 

主轴转速

25000-35000rpm

切割水流量

Blade 1.2-1.5L/min

Shower 1.0-1.2L/min

校准方式

手动校准、自动校准

切割效率

平均30min/片



四、光学玻璃、浮法玻璃类


切割刀片

SD1000N25MR0207    56D*0.1T*40H

膜型号

LINTEC 

主轴转速

28000-35000rpm

切割水流量

Blade 0.8-1.0L/min 

Shower 1.0-1.2L/min

校准方式

手动校准、自动校准

切割效率

平均20min/片



五、QFN/DFN类


切割刀片

SDC320R01Q    58D-0.3T-40H

膜型号

6360-15

主轴转速

21000rpm

切割水流量

Blade 1.2-1.5L/min

Shower 1.2-1.5L/min

校准方式

自动校准

切割效率

5-8min/条




六、PCB/MEMS基板类


切割刀片

D8/20-MDS   56D-0.1T-40H2d/1W/16N

膜型号

6360-15

主轴转速

25000rpm

切割水流量

Blade 1.2-1.5L/min

Shower 1.2-1.5L/min

校准方式

自动校准

切割效率

5min/条



七、碳纤维板、玻璃纤维板类


切割刀片

D8/20-MDS   56D-0.1T-40H2d/1W/16N

膜型号

6360-15

主轴转速

35000rpm

切割水流量

Blade 1.2-1.5L/min

Shower 1.2-1.5L/min

校准方式

手动校准、自动校准

切割效率

20min/片


(本文由陆芯精密切割编辑发布,如需转载须注明出处:www.iluxintech.com,专注于精密划片、切割以及特殊切割加工等领域)
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